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[发明专利]一种用于光阻喷嘴的清洗槽体结构及其应用-CN201410174612.2有效
发明人：汪武平;毛智彪;杨正凯 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-04-28 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：一种用于光阻喷嘴的清洗槽体结构及其应用，包括清洗槽壳体、防清洗液飞溅腔、喷嘴清洗腔、清洗液排出口、清洗液管路、新增清洗液管路、氮气吹扫管路和负压抽气管路；清洗液沿清洗液管路和新增清洗液管路向喷嘴清洗腔内部偏下的方向冲洗喷嘴头部，使喷嘴头部得到全面的清洗；倾斜布置的氮气吹扫管路和负压抽气管路能减少清洗液飞溅到防清洗液飞溅腔的情况，并能防止清洗液或者最终清洗液残留在喷嘴清洗腔内。本发明的槽体结构及其应用既能保证喷嘴头部的清洗效果，也能避免污染物的残留，保证光阻喷嘴喷光阻时的质量不受影响。
一种用于喷嘴清洗结构及其应用

[实用新型]一种化学品汲取管清洗设备-CN202022737138.3有效
发明人：岳佳佳 -专利权人：苏州冠博控制科技有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： B08B9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种化学品汲取管清洗设备，包括插管清洗盒，插管清洗盒中插装有汲取管，插管清洗盒底部连接有清洗液收集管，清洗液收集管通过管道连接清洗液泵，清洗液泵另一端通过管道连接清洗液过滤器，清洗液过滤器另一端通过管道连接清洗液喷嘴，清洗液喷嘴设于插管清洗盒上方，插管清洗盒中清洗液经清洗液过滤器过滤后输送至清洗液喷嘴，清洗液喷嘴将清洗液均匀喷洒至汲取管上进行清洗，清洗液喷嘴上方设置有氮气吹扫喷嘴，氮气吹扫喷嘴通过管道连接氮气吹扫过滤器，氮气吹扫过滤器另一端连接氮气管道，氮气吹扫喷嘴用于对汲取管进行吹干；本实用新型能够实现原液清洗方式以及氮气吹干的清洗作业，且清洗溶液可重复利用，清洗效率高。
一种化学品汲取清洗设备

[发明专利]晶圆清洗设备及晶圆清洗方法-CN202011089747.0在审
发明人：金在植;张成根;林锺吉;贺晓彬;刘强;丁明正 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗设备，该晶圆清洗设备包括清洗装置和控制器，清洗装置包括多个可移动的清洗液喷嘴，清洗液喷嘴用于向待清洗的晶圆的晶边喷涂清洗液，各个清洗液喷嘴中的清洗液的成分不同；控制器与清洗装置通信连接，控制器用于根据晶圆上的光刻胶的成分，选择一个或多个清洗液喷嘴向晶圆喷涂清洗液。本实施例提出的晶圆清洗设备通过设置多个清洗液喷嘴喷涂不同成分的清洗液，从而适应多种不同类型的光刻胶，并利用控制器根据光刻胶的成分选择清洗液，并控制对应的清洗液喷嘴移动，进而喷涂清洗液，提高了清洗效果，避免了因清洗液对光刻胶的溶解度低而导致的清洗不完全
清洗设备方法

[发明专利]集成清洗器喷嘴的刮水器片-CN201410837013.4有效
发明人：金贤燮;李福铁;孔珞敬;吴荣燮;李珍熙;朴振完;郑至容;李制省;安在赫 -专利权人：现代自动车株式会社;KB雨刷系统株式会社
申请日： 2014-12-29 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： B60S1/48 文献下载
摘要：本发明涉及一种集成清洗器喷嘴的刮水器片，一种具有整体清洗器喷嘴的刮水器片包括用于刷拭车辆的玻璃的橡胶片，与刮水器臂的保持器组合的扰流板，与扰流板组合的辅助杠杆，和分别与辅助杠杆组合并且支撑橡胶片的轭架，所述刮水器片可以具有：清洗器喷嘴模块，其与扰流板整体地组合并且相对于扰流板在两个方向上喷射通过清洗液软管供应的清洗液，其中清洗器喷嘴模块具有清洗液通道、喷嘴和入口，所述清洗液通道在清洗器喷嘴模块中在扰流板的纵向方向上形成从而在两个方向上喷射清洗液，所述喷嘴沿着清洗液通道形成并且喷射通过清洗液通道供应的清洗液，所述入口分别与清洗液通道相通并且与清洗液软管连接用于供应清洗液。
集成清洗喷嘴刮水器片

[实用新型]一种集成式显影槽喷头及显影设备-CN202221182560.X有效
发明人：金浩天;刘祝 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司;上海众鸿半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： B05B1/16 文献下载
摘要：显影槽喷头包括本体、清洗液喷嘴、显影液喷嘴、清洗液接口、显影液接口和连接杆。清洗液接口用于连接显影设备的清洗液管路，显影液接口用于连接显影设备的显影液管路，本体具有至少一个清洗液通道和至少一个显影液通道，清洗液接口和清洗液喷嘴均与清洗液通道连通，显影液接口和显影液喷嘴均与显影液通道连通；排成一列的显影液喷嘴的两侧各设置有一列清洗液喷嘴，且清洗液喷嘴斜向设置于本体底部两侧的倒角状斜面上。每个清洗液通道可与多个清洗液接口连接，每个显影液通道可与多个显影液接口连接，显影液通道还可与清洗液接口连接。显影设备包括上述集成式显影槽喷头。
一种集成显影喷头设备

[实用新型]一种可自清洗的喷嘴装置-CN201721613661.7有效
发明人：侯少堃;刘永祥;桑伟;刘昌范 -专利权人：北京鼎材科技有限公司
申请日： 2017-11-27 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： B05B15/555 文献下载
摘要：本公开涉及一种可自清洗的喷嘴装置，所述装置包括喷淋液喷嘴(1)和环绕在所述喷淋液喷嘴(1)外周的环形清洗液喷嘴(2)，所述喷淋液喷嘴(1)设置有喷淋液入口和喷淋液出口，所述环形清洗液喷嘴设置有清洗液入口和清洗液出口，所述环形清洗液喷嘴(2)清洗液出口的喷淋方向朝向所述喷淋液喷嘴(1)的喷淋液出口。本公开通过在喷淋液喷嘴的外周设置环形清洗液喷嘴，能够实现喷淋液喷嘴出口处的清洗，保证喷淋液喷嘴的工作正常和喷淋液扇形弧度，防止被堵塞，提高喷淋稳定性和喷淋效果。
喷淋液喷嘴清洗液喷嘴喷淋喷淋液出口清洗液出口喷嘴装置自清洗外周喷淋液入口喷嘴出口处清洗液入口工作正常扇形弧度环绕清洗堵塞保证

[发明专利]喷墨记录装置-CN201711114027.3有效
发明人：古川德昭;染手隆志;乾靖隆;前嶌正展;荒木拓马 -专利权人：京瓷办公信息系统株式会社
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： B41J2/165 文献下载
摘要：本发明提供一种喷墨记录装置，该喷墨记录装置能够通过简单的结构使清洗液的供给量固定。喷墨记录装置包括喷墨面和清洗液喷嘴。所述喷墨面具有喷出墨水的墨水喷出口。所述清洗液喷嘴具有用于供给清洗液的清洗液供给口，所述清洗液用于清洗所述喷墨面。所述清洗液喷嘴内部的所述清洗液的表面形成为凹状弯月面。
喷墨记录装置清洗液清洗液喷嘴喷墨面墨水清洗液供给口表面形成供给量凹状弯喷出口喷出月面清洗

[发明专利]工具清洗装置-CN201010155571.4有效
发明人：栗林裕;田中博之 -专利权人：兄弟工业株式会社
申请日： 2010-03-26 - 公布日： 2010-09-29 - 主分类号： B23Q11/00 文献下载
摘要：本发明的工具清洗装置在清洗液通路的中途包括存积部。存积部存积在清洗液通路内流动的清洗液。清洗工具和工具保持件时，清洗液喷嘴喷出存积部内所存积的清洗液。清洗液喷嘴在较小的阻力下喷出大量的清洗液。工具和工具保持件能由清洗液喷嘴喷出的清洗液可靠地清洗。工具清洗装置能有效防止工具和工具保持件的安装不良问题。
工具清洗装置

[发明专利]喷嘴面清扫装置及喷墨记录装置-CN201210032523.5无效
发明人：井上浩志 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2012-02-14 - 公布日： 2012-08-29 - 主分类号： B41J2/165 文献下载
摘要：本发明提供一种抑制擦拭时清洗液从头喷嘴面进入及清洗液滴下，提高喷出稳定性的喷嘴面清扫装置。擦拭单元(100)具备输送擦拭卷筒纸(112)的输送部(110)、向擦拭卷筒纸(112)供给清洗液的清洗液赋予部(140)、从被供给有清洗液的擦拭卷筒纸(112)回收清洗液的清洗液回收部(150)。由输送部(110)输送的擦拭卷筒纸(112)在清洗液赋予部(140)被赋予清洗液后，在清洗液回收部(150)被回收剩余的清洗液。清洗液被回收后的擦拭卷筒纸(112)卷绕于推压辊(122)上，推压抵接于头(32)的喷嘴面(33)，由此对喷嘴面(33)进行擦拭清扫。
喷嘴清扫装置喷墨记录

[发明专利]喷嘴清洗方法、喷嘴清洗装置及自动分析装置-CN200880015611.6有效
发明人：黑田显久;小林光久;加濑仁启;大川保 -专利权人：贝克曼考尔特公司
申请日： 2008-04-23 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： G01N35/10 文献下载
摘要：对进行液体的吸引以及排出的分注喷嘴进行清洗的喷嘴清洗方法、喷嘴清洗装置及自动分析装置。喷嘴清洗方法包括：第一清洗工序，在吸引了液体之后、排出液体之前，对分注喷嘴的外壁面进行清洗；和第二清洗工序，在排出了液体之后，对分注喷嘴的至少内壁面进行清洗。喷嘴清洗装置(6)具备：清洗槽(60)，上部具有供分注喷嘴插入的开口(60a)；喷出用清洗液供给装置(61)，在清洗槽内的上部喷出清洗液；储存部(62)，配置在清洗槽内且在由喷出用清洗液供给装置喷出的清洗液的下方区域，上部具有供分注喷嘴插入的开口(62a)，且储存清洗液；以及储存用清洗液供给装置(63)，对储存部供给清洗液。
喷嘴清洗方法装置自动分析

[发明专利]车辆用清洗系统以及具备车辆用清洗系统的车辆-CN201880007707.1有效
发明人：阪井健;市川靖洋 -专利权人：株式会社小糸制作所
申请日： 2018-01-16 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B60S1/60 文献下载
摘要：车辆用清洗系统具备：容纳清洗液的箱体(2)、压送箱体(2)内的清洗液的电泵(3)、向头灯(100)喷射清洗液的灯具用喷嘴(4)、向车载传感器(200)喷射清洗液的传感器用喷嘴(5)、将电泵(3)与灯具用喷嘴(4)及传感器用喷嘴(5)连结的清洗液通道(9)以及控制清洗液的喷射的控制部(8)。
车辆清洗系统以及具备

[发明专利]头清洗装置及图像形成装置以及头清洗方法-CN201110332845.7有效
发明人：每田宪亮 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2011-10-28 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： B41J2/165 文献下载
摘要：本发明提供一种能够向相对于水平面倾斜配置的头的喷嘴面的整面均匀地供给清洗液的头清洗装置及图像形成装置以及头清洗方法，其中，具备：清洗液保持部，其具备与倾斜配置的喷墨头(100)的喷嘴面对应而倾斜的清洗液保持面(202)；移动机构，其使头相对于清洗液保持部移动；清洗液供给部，其在使清洗液保持面与液体喷出面相面对的状态下，从倾斜的上部供给清洗液，以使清洗液在清洗液保持面与喷嘴面之间形成弯月形并沿着清洗液保持面的倾斜滑落，且具备以头的移动方向下游侧的外缘的位置位于比清洗液保持面的头移动方向上的中央靠上游侧的方式配置的清洗液喷嘴。
清洗装置图像形成以及方法

[实用新型]机床的清洗液过滤装置-CN201520082697.1有效
发明人：广濑雄之介 -专利权人：兄弟工业株式会社
申请日： 2015-02-05 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： B23Q11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及机床的清洗液过滤装置。清洗液过滤装置包括：容器；清洗喷嘴；清洗液通路，其将清洗喷嘴和容器连接起来，且用于向清洗喷嘴供给容器内的清洗液；泵，其设于清洗液通路中，向清洗喷嘴送出清洗液；过滤器，其配置于泵的吸入口侧；供气路，该供气路的一端与压缩气源相连接，另一端与清洗液通路的处于清洗喷嘴和泵的排出口之间的部分相连接；以及加压路，该加压路的一端与过滤器和泵的吸入口之间的部分相连接，另一端与压缩气源相连接。清洗液过滤装置自加压路向清洗液通路供给空气而进行加压。清洗液通路中的清洗液在空气压力的作用下向过滤器侧移动。清洗液在过滤器中逆向流动，从而消除过滤器的堵塞。
机床清洗过滤装置

[实用新型]一种尿素喷射系统及发动机-CN202123223876.7有效
发明人：赵鑫;潘伟;姚冬磊;傅连朋;纪晓伟;曲军鹏;刘岗 -专利权人：潍柴动力股份有限公司;林德液压（中国）有限公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： F01N3/28 文献下载
摘要：尿素喷射系统包括尿素喷射单元、清洗液箱、连通单元和过滤单元，尿素喷射单元包括尿素泵、尿素箱和尿素喷嘴，尿素箱和尿素喷嘴通过尿素泵连通；清洗液箱与尿素泵连通以为尿素喷嘴提供清洗液；连通单元用以将尿素泵选择性的与尿素箱或清洗液箱连通，过滤单元分别与清洗液箱和尿素泵连通。发动机工作时连通单元将尿素泵与尿素箱连通，使尿素进入到尿素喷嘴处，发动机停机时连通单元将尿素泵与清洗液箱连通，使清洗液进入到尿素喷嘴处，对尿素喷嘴处的残留尿素进行清洗；过滤单元则防止回流的清洗液中混有尿素而影响清洗液的后期使用，提高清洗液的使用寿命。
一种尿素喷射系统发动机

[实用新型]一种显影设备-CN201721609253.4有效
发明人：侯少堃;刘永祥;桑伟;刘昌范 -专利权人：固安鼎材科技有限公司
申请日： 2017-11-27 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本公开涉及一种显影设备，所述设备包括：旋转机台；显影液喷洒清洗机构，包括喷洒清洗喷头和用于将喷洒清洗喷头移动到所述旋转机台上方的第一喷头移动件；所述喷洒清洗喷头包括显影液喷嘴和环绕在所述显影液喷嘴外周的环形清洗液喷嘴，所述显影液喷嘴设置有显影液入口和向下开设的显影液出口，所述环形清洗液喷嘴设置有清洗液入口和清洗液出口，所述环形清洗液喷嘴清洗液出口的喷淋方向朝向所述显影液喷嘴的显影液出口。本公开的显影设备通过在显影液喷嘴的外周设置环形清洗液喷嘴，能够实现显影液喷嘴出口处和设置在旋转机台上彩色滤光片的清洗，提高喷淋稳定性和喷淋效果。
显影液喷嘴清洗液喷嘴显影液喷洒清洗喷头显影设备旋转机台喷淋清洗液出口外周清洗液入口喷头移动清洗机构滤光片上彩色出口清洗环绕移动

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